近日,由同濟大學承辦的東方科技論壇第281期學術研討會在上海舉行。來自同濟大學、北京大學、清華大學、上海理工大學、西安交通大學、中國科學院微電子研究院、上海交通大學、復旦大學、天津大學、中國計量科學研究院、國家納米科學中心、德國聯(lián)邦物理技術研究院等高校、研究機構和企業(yè)的40余位專家學者參加了會議。與會專家圍繞圍繞納米計量儀器、技術和傳遞標準;納米技術標準化;以及納米制造對計量和標準化的需求這三個中心議題,共同探討納米制造對計量技術的需求、納米計量的發(fā)展現(xiàn)狀和未來方向,以求推動納米計量技術的進步,支撐納米制造領域的發(fā)展。
會上,李同保、金國藩、蔣莊德、莊松林、劉明等院士與專家建議,我國須加強探索并發(fā)展基于新原理、新方法和新技術的納米計量儀器和納米傳遞標準,獨立自主地構建我國納米計量體系,對我國數(shù)十萬臺納米測量儀器進行校準和溯源,提升我國納米制造的技術能力,為我國成為制造業(yè)強國提供計量支撐。
自改革開放以來,中國的制造業(yè)規(guī)模和制造技術水平都有了顯著的發(fā)展和提高。著眼未來,中國要從經(jīng)濟大國邁向經(jīng)濟強國,首先要成為制造業(yè)強國。世界各國都在加強對制造技術的研究,力求在世界科技經(jīng)濟格局中處于領先地位,如德國的工業(yè)4.0,美國的“制造業(yè)復興”和我國的“中國制造2025”等。
本次論壇執(zhí)行主席、同濟大學教授李同保表示,制造領域幾乎所有的創(chuàng)新和技術進步都離不開納米科技,納米科技已成為國防戰(zhàn)略和新興產業(yè)的制高點,對國家安全和國民經(jīng)濟建設具有重大作用。
中科院院士、中科院微電子研究所研究員劉明等認為,隨著器件的特征尺寸進入納米量級(1納米~100納米),加工制造過程中的不確定性顯著增加,加工誤差對器件性能的影響也越來越大。納米計量不僅是測量和表征納米尺度器件的基礎,同時在納米加工工藝控制和質量管理領域也扮演重要角色,它是微電子、微機械、超精密加工、納米醫(yī)學、納米生物學等領域中不可回避的關鍵科學與技術問題。
國際上對納米計量技術的研究主要集中在計量型納米精度檢測技術和納米尺度傳遞標準兩方面。納米計量像一把“尺子”,可以為具有納米精度的儀器裝置和實物標準進行校準,測量結果可溯源于國際單位制,準確性和可靠性大幅度提高。
中國已成為世界納米科技大國,構建了龐大的納米制造研發(fā)和生產體系,擁有sem、afm等納米測量儀器數(shù)十萬臺。但是納米計量技術、測試儀器和傳遞標準卻相對較少,這嚴重制約了我國納米制造技術和相關行業(yè)的進一步發(fā)展。對此,西安交通大學教授蔣莊德表示:“作為‘中國制造2025’的基礎與核心技術,計量測試與傳感技術的發(fā)展面臨新的挑戰(zhàn)和機遇?!?/P>
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