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高精度溫度控制系統(tǒng)試驗(yàn)平臺(tái)項(xiàng)目完成驗(yàn)收

發(fā)布時(shí)間：2010-11-11 作者： 來(lái)源： 瀏覽：297662

　　近日，由國(guó)家發(fā)展改革委支持建設(shè)的“集成電路裝備專(zhuān)用高精密溫度控制系統(tǒng)產(chǎn)業(yè)化”項(xiàng)目完成驗(yàn)收。

　　該項(xiàng)目由上海微電子裝備有限公司承擔(dān)建設(shè)，研制了高精度溫度控制系統(tǒng)試驗(yàn)平臺(tái)，形成了溫度控制系統(tǒng)的批量生產(chǎn)能力，獲專(zhuān)利授權(quán)12項(xiàng)、軟件著作權(quán)3項(xiàng)。

 

 

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