北京市目前已經掌握了全球集成電路產業(yè)中大規(guī)模量產的先進主流技術??65納米產品工藝。記者昨日從市經信委獲悉,由中芯國際集成電路制造有限公司承擔的國家重大科技專項“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”中的“65/45/32納米工藝”項目取得了重大進展,成功研發(fā)出65 納米產品工藝,各項技術指標均達到國際主流技術水平,現已進入批量生產階段。
中芯國際目前正在進行擴產計劃,有望在明年內達到月產65 納米產品2萬片的規(guī)模,年產值將達50億元人民幣。
據悉,中芯國際正在加緊進行45納米成套工藝的引進消化吸收和再創(chuàng)新,計劃于今年底明年初完成45-40納米的成套生產工藝研發(fā)。屆時中芯國際將具備90納米、65納米至45納米完整的高端CMOS產品成套制造工藝技術平臺。
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